تولید سامانه‌ها و تجهیزات آزمایشگاه‌های میکروالکترونیک توسط محققان ایرانی

تهران – ایرنا – متخصصان یک شرکت‌ دانش‌بنیان موفق به طراحی و ساخت سامانه تمیزکننده پلاسمایی، سامانه رشد نانولوله‌های کربنی و سامانه زدایش عمیق سیلیکون با استفاده از یون‌های واکنشگر شدند.

منبع: https://www.irna.ir/news/85343816/%D8%AA%D9%88%D9%84%DB%8C%D8%AF-%D8%B3%D8%A7%D9%85%D8%A7%D9%86%D9%87-%D9%87%D8%A7-%D9%88-%D8%AA%D8%AC%D9%87%DB%8C%D8%B2%D8%A7%D8%AA-%D8%A2%D8%B2%D9%85%D8%A7%DB%8C%D8%B4%DA%AF%D8%A7%D9%87-%D9%87%D8%A7%DB%8C-%D9%85%DB%8C%DA%A9%D8%B1%D9%88%D8%A7%D9%84%DA%A9%D8%AA%D8%B1%D9%88%D9%86%DB%8C%DA%A9-%D8%AA%D9%88%D8%B3%D8%B7-%D9%85%D8%AD%D9%82%D9%82%D8%A7%D9%86